106管家婆期彩图

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                  2015年
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                  分析半导体级有机金属钛配合物中的超痕量铜

                  2019-12-19 13:31 作者:chengyang 来源:安捷伦科技公司 浏览: 次

                  摘要106管家婆期彩图:前言 大多数四极杆 ICP-MS (ICP-QMS) 仪器采用 CRC 技术来解决质谱干扰问题 。 由于功能强大且能轻松用于复杂多变样品的多元素分析,氦气碰撞模式已经被广泛采用 。 尽管 He模式下的性能能够满足大多数应用的需求,但是有些应用如半导体材料的杂质分析,要求仪器具有更高的消除干扰能力

                  QIANYAN

                  DADUOSHUSIJIGAN ICP-MS (ICP-QMS) YIQICAIYONG CRC JISHULAIJIEJUEZHIPUGANRAOWENTI 。 YOUYUGONGNENGQIANGDAQIENENGQINGSONGYONGYUFUZADUOBIANYANGPINDEDUOYUANSUFENXI,HAIQIPENGZHUANGMOSHIYIJINGBEIGUANGFANCAIYONG 。 JINGUAN HeMOSHIXIADEXINGNENGNENGGOUMANZUDADUOSHUYINGYONGDEXUQIU,DANSHIYOUXIEYINGYONGRUBANDAOTICAILIAODEZAZHIFENXI,YAOQIUYIQIJUYOUGENGGAODEXIAOCHUGANRAONENGLI 。ZAIZHEIXIEYINGYONGZHONG,KENENGHUISHIYONGFANYINGXINGCHIQITI(FANYINGMOSHI),DANSHIZAISIJIGAN ICP-MS ZHONGSHIYONGGAOFANYINGXINGDECHIQITIHENRONGYICHANSHENGWEIZHIGANRAOHEZHONGDIE,YOUQISHIDANGJIZHIHENFUZAHUOZHEQITAFENXIWUDENONGDUKEBIANSHIGENGSHIRUCI 。 XINXING Agilent 8800 CHUANLIANSIJIGAN ICP-MS(ICP-MS/MS) KEYIJIEZHUDIYIGESIJIGAN (Q1) KONGZHIJINRU CRCDELIZI,BAITUOYU ICP-QMS ZHONGFANYINGXINGCHIQITIXIANGGUANDEBIANYIXING 。CONGERQUEBAOFANYINGKEYUJIAN,QIEZILIZIPUTUJIANDANYIZHI 。

                  BENWENMIAOSHULEBANDAOTIJIYOUJIJINSHUTAIPEIHEWU(YONGYUGAOJIBANDAOTIJIAGONG)ZHONGHENLIANGTONG (Cu) DECEDING 。 DUIYUSIJIGAN ICP-MS LAISHUOZHEISHIYIGEJUYOUTIAOZHANXINGDEYINGYONG,YINWEI Cu DELIANGZHONGTONGWEISU 63 Cu HE65 Cu HUISHOU TiO HE TiOH LIZIDEGANRAO,RUGUOSHIYONGFANYINGXINGCHIQITILAIXIAOCHUZHONGDIE,HUISHIZILIZIDEPUTUBIANDEFEICHANGFUZA,YANJIUYOUJIYANGPINSHIGENGSHIRUCI 。 WOMENDEYANJIUBIAOMING, Agilent 8800 ICP-MS/MSZAI MS/MS ZHILIANGZHUANYIMOSHIXIASHIYONGANQIZUOWEIFANYINGQINENGGOUJIANG Cu +YU Ti XIANGGUANDEGANRAOWUFENLIKAI,BINGQIENENGGOUCEDINGHAN 500 ppm Ti DEJIZHIZHONGDEDINONGDU( ppt JI)Cu。WOMENHAIZAI MS/MS He PENGZHUANGMOSHIXIAJINXINGLESHIYAN,BINGDUILIANGZHONGMOSHIXIADEJIEGUOJINXINGLEBIJIAO 。

                  SHIYANBUFEN

                  仪器: Agilent 8800 #200 ,用于有机溶剂分析的窄进样口径(内径 = 1.5 mm )炬管 (G3280-80080)。 在自吸模式下使用低流速 PFA 雾化器 (G3285-80002)。 通过选择气体流路向 Ar 中通入 20% 的选择气体 O 2 ,以防止在采样锥处形成积碳 。

                  操作条件:106管家婆期彩图 表 1 列出了等离子体、离子透镜以及池调谐条件 。

                  采集条件:106管家婆期彩图 采用 MS/MS 模式,池气体为 NH 3 或 He。

                  样品和样品制备:用高纯 IPA ( Tokuyama 公司,日本)将半导体级有机金属钛配合物( ADEKA 公司,日本)稀释成500 ppm Ti 溶液。使用购自 SPEX CertiPrep 有限公司(英国)的多元素标准品 xstc - 331 制备加标标准品。

                  JIEGUOHETAOLUN

                  He 碰撞模式

                  106管家婆期彩图 WEILEHUODE 500 ppm Ti RONGYEZHONG Cu DEZUIDI BEC ,WOMENDUI HeCHIQITILIUSUJINXINGLEYOUHUA 。 YOUYU 63 Cu DEFENGDUBI 65 Cu GAO,BINGQIE TiO + ZAI m/z 65 CHUDEGANRAOGENGYANZHONG,SUOYI 63 Cu DE BEC BI65 Cu DE BEC DI,YINCIWOMENZAIYUANWEIZHILIANG m/z 63 CHUCEDING Cu。MS/MS MOSHIXIACAIYONGDECAIJITIAOJIANRUXIA: Q1 = 63 ; Q2 = 63( 63 , 63 )

                  FENBIEFENXILELIANGZHONGRONGYE: 500 ppm Ti RONGYEHE 500 ppm Ti +1 ppb Cu JIABIAOWU 。 TU 1 (ZUOTU)XIANSHILEZHEILIANGZHONGRONGYEZAI m/z 63CHUDEXINHAO,YI He LIUSUDEHANSHUZUOTU 。 TUZHONGHAIJICHULETONGGUOZHEIXIEXINHAOJISUANDEDAODE BEC。 CONGTUZHONGWOMENKEYIKANCHUZAI He MOSHIXIA,DANGHe LIUSUWEI 8.0 mL/min SHIKEYIHUODE Cu DEZUIDI BEC (46 ppt)。

                  NH 3 反应池模式

                  106管家婆期彩图 Cu + KEYIYOUXIAODIYU NH 3 FANYINGSHENGCHENGTONGSHIWEI Cu(NH 3 ) n + DE NH 3TUANCULIZI 。TiO + DEFANYINGTUJINGYU Cu + BUTONG,SUOYIWOMENKEYIZAIBUSHOU Ti ZHONGDIEGANRAODEQINGKUANGXIACEDING Cu ZILIZI 。 ZAICHUBUYANJIUDEJICHUSHANG,WOMENXUANZELEYIGEXINHAOBIJIAOQIANGDEZILIZI Cu (NH 3 ) 2 + ,TONGGUOCEDINGZHEIGELIZILAICEDING Cu ,YIYUANLICHUSHI TiO + GANRAO 。 ZAI NH 3FANYINGQIMOSHIXIAWOMENXUANZEDEZHILIANGSHUDUIWEI Q1 = 63 , Q2 = 97。TU 1 (YOUTU)JICHULE NH 3 FANYINGCHIMOSHIXIADEJIEGUO 。 ZAI NH 3 MOSHI( 10% NH 3 /He HUNHEQI)XIA,DANG NH 3 LIUSUWEI 6.5 mL/minSHI, 500 ppm Ti RONGYEZHONG Cu DE BEC WEI 11 ppt。

                  JIELUN

                  BIAO 2 HUIZONGLE 8800 ICP - MS / MS ZAI MS / MS MOSHIXIACAIYONG HePENGZHUANGYIJI NH 3 FANYINGQISHIDEFENXIXINGNENG。CONGZHEIGEBIAOKEYIKANCHU,ZAIXIAOCHU TiO + DUI Cu DEGANRAOFANGMIAN, NH 3 FANYINGMOSHIBI He PENGZHUANGMOSHIGENGYOUXIAO。 NH 3 MOSHIXIAHUODEDE Ti JIZHIZHONG Cu DE BEC BI He MOSHIXIAHUODEDEDISIBEI,QIE NH 3 MOSHIXIADELINGMINDUBI He MOSHIGAOQIBEI。

                   


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                  (责任编辑:chengyang)
                  

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